工作台

金属台面尺寸(mm)

760×640

800×550

800×800

750×1000

1140×1360

1340×1660

玻璃台面尺寸(mm)

550×350

650×450

650×650

650×850

1050×1250

1250×1550

运动行程(mm)

500×300

600×400

600×600

600×800

1000×1200

1200×1500

Z轴升降行程

200mm

工作距离

92mm

X、Y、Z数显解析度

1μm

X、Y坐标示值误差

≤(3+L/200)μm

影像系统

摄影机：日本原装彩色1/2″CCD摄像机

变焦物镜倍率：（美国：NAVITAR）0.7~4.5X 或自动变焦镜头

视频总倍率：30X~190X

物方视场：10.6~1.6mm 表面光源与透射光源均用LED，48组可编程。

测量系统

Mclns全自动测量软件