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机型选择

轮廓形状测定机
EF651D
产品介绍
· 采用数字式传感器、执行高精度的轮廓形状评价。 · 多种解析功能:方位向量解析、滚珠螺杆解析、非球面解析。 · 测定资料图表可自由编组表格。
产品特点
测定范围Z:60mm X:100mm
测定精度士(0.8+2H/100)µm
触针/测定力R25µm 30mN以下
测定角度上坡77° 下坡87°
解析要素解析/方位向量/MASTER比较/ 滚珠螺杆/非球面解析
分解能Z:0.025µm
直线度精度1.0µm/100mm


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