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仪器主要构成:
1、手套箱:对氧化不敏感工件可不配;工作氛围:惰性气体,选配真空氛围;腔室温度:工业空调控温(选配);过渡仓:真空小过渡仓,可选配大过渡仓;1.5工位,可选配多工位;
2、循环水冷模块(选配);
3、循环气冷模块;
4、壁挂式计算机控制系统(含集成电路);
5、全温场高温加热炉
6、800℃大量程动态加载与补偿系统:标配30kg力,选配1~150kg力;
7、800℃光学成像与气控系统:10X物镜,可选配20X物镜
8、800℃高温压针模块:正四棱锥压针,选配球形、圆锥、锥形、圆柱等
9、800℃快速换样系统:同温场50秒内快速换样
10、高温集成电路多轴联动控制与补偿系统:至多9轴同步运动控制
11、高温图像识别与数据分析处理系统
12、高温动态位移检测与校准系统:500nm,选配>20nm分辨率激光位移;
仪器的主要功能:
1、材料性能评价:维氏硬度(可选配洛氏、布氏等)、断裂韧性、选配弹性模量(A类、B类等)、选配划痕、选配蠕变、选配金相等。
2、功能指标评价:实时力值、实时位移、同温场温度、表面形貌(压痕、裂纹、划痕等)、表面形貌特征(菱形、球形、圆锥、锥形、圆柱等)。
3、操控指标评价:定位移加载、定力值加载、定速度加载、多轴高精度同步运动控制、同温场高通量测试、同温场快速换样测试、同温场原位测试、温度梯度(温升温降)原位测试等。
4、过程指标评价:定时间压针预热、定时间加载、定时间保荷(长达72小时原位保荷)、定时间卸载、长时间原位观测、大样品同温场连续测试、力-位移-时间实时数据等。
仪器的主要参数:
1.全温场温度控制系统
使用温度范围室温~800℃
炉腔温度范围≤900℃
温控精度≤±0.3℃
温度场梯度误差≤±5℃
升温速率范围1℃~40℃/min
炉腔温场尺寸100*80*80mm
试样尺寸≤φ30*30mm
加热元件HRE高温合金
控温热电偶S型热电偶
2.大量程动态加载与补偿系统
加载力值范围0.1~30kg
力值档位固定档位/自定义力值
固定档位力值标配61档
自定义力值输入力值
加载方式定力值/定位移/定速度
定力值加载精度≤1kg时±2%;>1kg时±0.5%
定力值加载分辨率0.01%FS
定位移加载分辨率500nm(选配20nm~500nm)
加载过程实时力值、位移、时间数据
保荷时间≤72小时
传感器耐高温力值传感器、激光位移传感器
3.压针预热模组
预热时长≤50小时
预热时间自定义,单位min或s
最高预热温度≤900℃
4.高温光学成像与测试系统
物镜放大倍数10X物镜(选配20X物镜)
系统显示放大倍数1000X(选配2000X)
物镜分辨率1.44um,选配1.19um
物镜工作温度≤800℃
单次持续工作时间≤50小时
5.样品快速更换系统
更换方式手动,选配自动
更换时长≤50秒
系统极限温度≤900℃
系统测试环境≤800℃
6.高温联动控制与补偿系统
联动轴数5轴(选配6~8轴)
运动控制精度≤±1um
运动控制速度≤5000um/s
运动控制分辨率≤0.1um
运动控制方式自动
X轴行程(横轴)250mm
Y-A轴行程(10X物镜)90mm
Y-B轴行程(20X物镜)90mm
Y-C轴行程(压针)100mm
Y-D轴行程220mm
Z轴行程(样品升降轴)100mm
R-X轴行程360
7.循环水冷模块(选配)
最大流量13L/min
8.循环气冷模块
介质惰性气体
冷却时间≤5秒
气压0.8Mpa
冷却温度≤55℃
持续工作时间≤72小时
9.风冷模组
冷却组数4
冷却角90°
10.高温压针模组
材质立方氮化硼CBN、接杆为镍铬合金
镍铬合金总长110mm
是否可修复否
选配可修复全尺寸1700型压针110mm*φ8(可选配110mm*φ6.35)
11.手套箱
水氧指标≤1ppm
工位数1.0
尺寸2200*1420*2270mm
腔室尺寸1350*950*1400mm
箱体材质、厚度304不锈钢、5mm
箱体底板材质、厚度304不锈钢、12mm
12.工作腔室温控模块
额定制冷量1050W
制冷剂R134a
温度范围15~36℃
噪音≤63dB(A)
11.仪器安置参数
仪器外形尺寸2400*1500*2350mm(安置空间大于长3800*宽2000*高2800mm)
仪器重量1800kg(环境无振动)
气源99.999%高纯氩气等
电源220V(功率>6.5KW)